深耕氟、硅、磷 补强“中国芯”——聚焦智能传感器和半导体产业链系列报道之七

 河南日报社全媒体记者 姚广强

打破我国半导体产业高品质电子级氢氟酸、高纯四氟化硅依赖进口局面，产品大批量供应国内多条芯片生产线，成功进入国际芯片巨头台积电供应链，并出口韩国、日本市场。多氟多新材料股份有限公司在半导体产业十年磨一剑，多种产品成为补强“中国芯”的关键环，融入国际高端半导体产业供应链。

3月22日，多辆专用货车满载电子级硅烷驶出多氟多子公司中宁硅业厂区。不远处，新建生产线正在以日新月异的速度“成长”……

“多氟多成为国内唯一能够大批次生产集成电路用高纯四氟化硅气体的企业，在韩国、日本市场上实现了推广应用。电子级硅烷与中芯国际、京东方、台积电等泛集成电路行业领军企业建立了合作关系，打开了利润长期增长新空间。”中宁硅业董事会秘书、总经理助理王矿宾介绍。

总部位于焦作市的多氟多，在打造新能源材料和半导体材料领域世界一流企业的道路上阔步前行。锂电池电解液的关键材料六氟磷酸锂，多氟多率先打破国际技术垄断，连续多年产销量位居全球第一。高品质电子级氢氟酸品质达到国际最高的UP-SSS级、纯度达到ppt级，居世界先进水平。

高品质电子级氢氟酸是集成电路制造业关键材料之一，主要用于芯片清洗、蚀刻等环节，其纯度和洁净度对集成电路的成品率、可靠性都有着十分重要的影响。

深耕氟、硅、磷，助力“中国芯”。早在2006年，多氟多就从磷肥副产氟硅酸的高品质利用入手，攻关电子级氢氟酸制备工艺，进军半导体产业。

去年12月，多氟多的磷肥副产氟硅资源高质利用成套技术开发及产业化项目，喜获2023年度中国石化联合会科技进步一等奖。该项目开发了以磷肥副产品氟硅酸为原料生产高品质电子级氢氟酸联产白炭黑成套新工艺，解决了磷肥产业环保难题，缓解了氟化工行业对战略矿产资源萤石的高度依赖，提升了我国集成电路关键材料保障能力。

多氟多围绕氟、硅两个元素，打造“南北双基地”，分别专注于干电子化学品和湿电子化学品，挖掘在半导体领域的无限可能。电子级硝酸、电子级氨水、电子级氟化铵……多氟多的系列产品相继开发成功，为提升我国半导体产业国产化率贡献了力量。

3月20日至22日举办的2024上海国际半导体展上，多氟多的核心产品、关键技术、先进解决方案均亮相，企业技术人员与来自全球的客户、合作伙伴充分交流、深化合作。

“我最大的心愿，就是中国企业拥有自主核心技术，改变半导体行业在国际上的落后局面，不再‘缺芯少魂’。祖国需要什么，我们就做什么。多氟多愿意‘打头阵’，以科技创新攻克一个个半导体产业‘堡垒’。”多氟多董事长李世江表示。